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行业市场结构、技术动向与企业战略分析——以经核实的事实数据为依据。

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新闻

Entegris/Inpria：EUV MOR光刻胶交叉许可

Entegris与JSR旗下Inpria就EUV光刻用金属氧化物光刻胶（MOR）专利签署非独占交叉许可协议。协议覆盖配方、前驱体合成和超高纯度过滤三大领域，并将终结正在进行的专利无效审判IPR2025-00267。

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