Research Notes

三菱電機とCoherent、8インチSiC基板を共同開発——次世代ウェハへの準備が動く

三菱電機がCoherentと8インチSiC基板の共同開発パートナーシップを強化した。熊本の新工場向けに高品質基板を確保する動きは、200mmへの移行競争が加速していることを示す。