Research Notes

Entegris・Inpria：EUV MORレジストで相互許諾

EntegrisとJSR傘下のInpriaが、EUVリソグラフィ向け金属酸化物レジスト（MOR）特許で非独占クロスライセンス契約を締結。処方・前駆体合成・超高純度ろ過の3領域をカバーし、係争中だった特許無効審判IPR2025-00267も合意の一環で終結する。